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TEL Mark-8轨道T＆H-NRC-1-A型温湿度空气调节器原理介绍及故障分析

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本文介绍了在半导体设备TEL Mark-8中T&H-NRC-1-A型温湿度空气调节器的基本原理及一般故障分析.

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来源
《电子与封装》 |2004年第1期|61-64|共4页
作者
郭晶磊; 周林;
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作者单位

中国电子科技集团公司第58研究所,江苏,无锡,214035;

中国电子科技集团公司第58研究所,江苏,无锡,214035;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
温度; 湿度; 冷冻机; 蒸发; 压缩; 凝聚; 膨胀;

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