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江锋; 王立燕; 吴凌祎;
无锡华普微电子有限公司,江苏,无锡,214035;
溅射台; 薄膜; 均匀性; 冷凝泵;
机译:2013年度第1次研究会召开的通知了解溅射工艺!第1部分:探索反应溅射中的动态质量平衡和工艺稳定性
机译:AR和Ar / O-2大气中Zn / Al靶标的高功率脉冲磁控溅射:溅射工艺和偶氮膜的研究
机译:用于高功率脉冲溅射磁控管的自溅射,工艺气回收和失控的统一处理
机译:使用远程等离子溅射工艺在环境温度下沉积低应力无定形锌氧化锡,适用于精致基材的远程等离子体溅射工艺
机译:通过轧制溅射沉积工艺沉积在柔性玻璃基板上的氧化铟锌,氧化铟锡和钼薄膜的表征
机译:溅射装饰工艺设计TiO2-Ag2O复合纳米棒的纳米尺度表面形貌及其低浓度NO2气敏特性
机译:直流磁控溅射与大功率脉冲磁控溅射工艺在不同惰性气体条件下CNX薄膜生长的比较研究
机译:离子束溅射沉积高(Tc)超导薄膜的离子散射和溅射工艺研究:沉积参数的优化。
机译:通过反应性高能溅射工艺沉积层,方法是在基板上通过溅射工艺喷涂部分层,然后在基板上沉积层,其中通过脉冲模式操作的磁控管执行溅射工艺
机译:旋转圆筒型磁控溅射阴极靶组件,溅射阴极组件,溅射系统及使用该溅射膜的薄膜生产工艺
机译:棒状磁控管或溅射阴极装置,溅射工艺,实施该工艺的装置和管状靶
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