高精度超声波微压差测量仪设计

摘要

微压差和微压力的高精度测量是一个难点。文中提出了一种采用U型管微压计原理、结构简单、可靠性高、成本低、测量精度大大提高的新型微压计,即高精度超声波微压差测量仪,介绍了超声波进行微小压力测量的原理,以及部分硬件结构设计和软件设计。该测量仪测量分辨率可达0.024 mmH2O,在科研、加工和生产等领域具有广泛的应用前景。