机床微进给机构激励电源的设计

摘要

在超精密加工中微进给机构激励电源的精度和频带宽度,直接关系到该微进给机构能否作为机床主轴回转误差补偿控制系统中的小惯量微动伺服机构。本文介绍了一种可带容性负载的高电压、高频响激励电源的设计方法及相应的实现电路。经测试,本电源的电压稳定度S_V≤0.013%;3分贝带宽可达350Hz,带内300Hz以下不衰减。