基于TiO2薄膜电阻式随机存储器电致阻变性质的研究

摘要

本论文采用溶胶凝胶法制备了TiO2薄膜,研究Pt/TiO2/Pt器件的电致阻变性质,并结合I-V特性曲线分析器件内部的阻变机制,器件高低阻态的导电机制分别为肖特基发射机制和欧姆导电机制。结果表明,Pt/TiO2/Pt器件在非易失性存储器领域具有潜在的应用。