SAM结构雪崩光电二极管的工艺仿真与特性研究

摘要

利用SILVACO软件的两个组件ATHENA和ATLAS对SAM结构雪崩光电二极管分别进行工艺仿真和特性研究。利用ATHENA模块得到器件的掺杂浓度分布和掺杂区域隔离。利用ATLAS模块对ATHENA得到器件结构进行雪崩击穿电压和有无光照时的电流电压特性进行软件模拟。在合理掺杂浓度时该雪崩光电二极管的击穿电压约为6.2V。