无损检测技术在电子元器件失效分析中的应用

摘要

电子元器件的无损检测可以在不破坏芯片使用性能的前提下,对芯片进行失效分析,是保证元器件质量的重要技术手段,本文介绍了红外检测、射线检测、超声检测的原理以及在元器件失效分析中的应用,并给出了相关无损技术在元器件失效分析中的应用实例。