CO、CO_2、SO_2红外集成气体传感器设计

摘要

基于红外光谱吸收原理,设计了一种可以同时监测一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化硫（SO2）三种气体的集成气体传感器。该传感器采用了单光源六探测器差分光学结构,消除了光源、其他干扰气体等干扰因素所带来的影响。该仪器具有较好的灵敏度、稳定性、选择性和抗腐蚀性,可准确、稳定的在线测量CO、CO2、SO2三种气体。同时,通过更换带有特定波长滤光片的参比红外探测器和测量红外探测器,可对不同气体进行在线检测。