全密封硅电容式加速度计制作技术

摘要

介绍了全密封硅电容式加速度计的结构，阐述了高平面度平行度的不粘片研磨抛光方法，硅的各向异性刻蚀工艺和静电静接技术，并对测试结果进行了分析讨论。