硅基异质结构的研究

摘要

硅基异质结构的研究郑宜钧（中国华晶电子集团公司）１引言１．１硅基异质结构的研究随着微电子技术应用要求越来越高，Ｓｉ器件的物理、电学性能极限显露越明显。因此，非常有必要寻求一种新的材料来替代；或者在硅的基础上异质生长一种新的结构材料。研究表明：以Ｓｉ为...