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多晶硅栅叠层; CVD; HfO2; 时间相关介质击穿; 可靠性; 栅氧化;
机译:导致n +多晶硅/ HfO2栅堆叠中的费米能级钉扎的缺陷
机译:HfO2 sub>高k栅绝缘体在准分子激光退火多晶硅TFT中的应用
机译:HfO2晶体管的多晶硅与TiN栅电极的物理和电气特性
机译:用多晶硅和金属栅电极确定0.8-1.2 nm EOT HfSiON栅介质击穿时间
机译:对二氧化硅膜的热化学气相沉积(CVD)和多晶硅膜的高密度等离子体CVD过程中颗粒形成和传输的研究。
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:HfO2 / SiO2和SiO2 MOS栅堆叠中载流子传输机制的温度(5.6-300K)相关性比较
机译:多晶硅多层结构CVD沉积和掺杂的光谱椭偏法表征
机译:CMOS薄膜晶体管,其制造方法以及有机发光显示装置,该有机发光显示装置具有层叠的具有顶栅构造的PMOS多晶硅薄膜晶体管和具有倒置交错的底栅构造的NMOS氧化物薄膜晶体管
机译:集成的时间相关的电介质击穿可靠性测试
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