用于确定表面特性的扫描探针显微法

摘要

扫描探针显微法(SPM)常用于半导体和磁盘驱动行业的成象和计量。SPM可在简单如环境空气、复杂如温度控制样品及真空载物台等各种环境下提供定量的3维数据。它和扫描电子显微法(SEM)不同,其样品准备工作极少,在几分钟内就可把圆片放置在SPM载物台上进行扫描。新的扫描尖端使SPM已经不仅仅是获取表面信息的高倍率工具。同样的仪器可用于测量埃等级的表面粗糙度。SPM还能获得和显示诸如摩擦力、磁力、电势能以及表面一致性等表面性质。有极高纵横比的探针还可在斜槽内成像。