光刻伺服盘安装精度的理论分析与实践

摘要

从光刻伺服盘的制作工艺过程和光刻伺服图形位置信息的特征入手，分析了引起光刻伺服盘安装偏心的原因及偏心对磁头伺服定位的影响，并提出了提高安装精度和减小偏心的有效途径。