退火温度对纳米TiO2薄膜微结构的影响

摘要

利用XRD、IR、UV-VIS、AFM、XPS等手段,研究了退火温度对溶胶-凝胶法制备的纳米TiO2薄膜微结构和表面形貌的影响.450～600℃退火处理的薄膜呈锐钛矿和金红石型混晶结构,700℃退火后为纯金红石相;水峰的吸收峰消失在300～500℃之间,至500℃有机基团完全消失,薄膜表面主要有C,Ti,O三种元素;改变退火温度,可以使薄膜的禁带宽度在3.26～3.58 eV之间变化,可以在一定范围内,获得不同折射率的TiO2纳米薄膜;薄膜的表面粗糙度(RMS)为2～3 nm.