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多晶硅微悬臂梁断裂的可靠性预测模型

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分析了多晶硅微悬臂梁断裂失效机理,利用威布尔分布理论建立了多晶硅微悬臂梁在轴向拉抻和垂直两种受力方式下的断裂可靠性预测模型,模型考虑了由于实际加工工艺所带来的残余应力因素,模型所得的预测曲线与实验数据比较吻合.

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来源
《电子元件与材料》 |2005年第6期|63-66|共4页
作者
姜理利; 唐洁影;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类可靠性理论;
关键词
电子技术; MEMS; 微悬臂梁; 可靠性预测; 威布尔分布;

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