水基前驱体法制备BST铁电薄膜的研究

摘要

Ba1-xSrxTiO3(BST)薄膜具有非线性强、漏电流小、不易疲劳等特点,在高密度动态随机存储器的应用,受到了极大关注.以水基溶液为前驱体,调整Ti(OC4H9)4与H2O的配比以改变溶胶的黏度,并采用旋涂法制备了BST铁电薄膜.对水基BST前驱体溶液进行了DSC/TG和XRD分析.实验表明,采用较高浓度的水基前驱体,有利于薄膜的形成和均匀性.薄膜的相结构研究表明,随着退火温度的上升,BST薄膜的结晶度上升,而晶粒尺寸随之略有下降.