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梯度多层BST薄膜介电性能研究

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摘要

成分梯度多层钛酸锶钡薄膜具有较好的综合介电性能,包括适中的介电常数、高的介电调谐率、低的介质损耗及低的介电温度系数等,日益成为微波调制器件如移相器、滤波器、谐振器等的重要候选薄膜材料.就国内外近年来取得的重要成果进行了综述,对今后成分梯度多层BST薄膜的研究前景及方向进行了展望.

著录项

来源
《电子元件与材料》 |2006年第10期|10-12|共3页
作者
张慧; 廖家轩; 田忠; 许江;
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作者单位

四川电力职业技术学校,四川,成都,610072;

电子科技大学电子科学技术研究院,四川,成都,610054;

电子科技大学电子科学技术研究院,四川,成都,610054;

电子科技大学电子科学技术研究院,四川,成都,610054;

电子科技大学电子科学技术研究院,四川,成都,610054;

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正文语种 chi
中图分类各种钢材：按组织区分;
关键词
无机非金属材料; 成分梯度; 综述; 多层膜; 钛酸锶钡薄膜; 介电性能; 微波调制器件;

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