微波辅助化学浴沉积法制备ZnO薄膜

摘要

采用微波辅助化学浴沉积法在玻璃衬底上制备了氧化锌(ZnO)薄膜.初步探讨了化学浴沉积法制备ZnO薄膜的反应机理.X射线衍射分析结果表明所得的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,不具有任何晶面的择优生长取向;随着反应时间从15 min延长至30 min,薄膜结晶性能提高,晶粒尺寸从27 nm长大到73 nm.扫描电子显微镜分析显示反应沉积12 min时,薄膜比较均匀、致密,无裂纹出现;反应沉积25 min后,薄膜厚度增加,同时出现开裂现象.