微气体传感器微热板电极结构的设计与优化

摘要

设计了一种微气体传感器微热板的电板结构,利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化,研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响,并对测量电极的结构进行了优化.结果表明:当微热板加热电极的宽度和间距分别为20 μm和10 μm且测量电极为无叉指结构时,微热板中心区域能获得高且均匀的温度分布,并且磁场强度最小且分布均匀,这种电板结构有助于消除磁场对测量信号的干扰,提高传感器的整体性能.