模拟计算优化SnO2纳米半导体薄膜的光学性能

摘要

针对化学气相沉积法在玻璃衬底上制备的SnO 2薄膜，建立了计算模型，研究了SnO 2薄膜的反射光谱性质，计算出相关的光学参数。结果表明：振荡模型结合Drude模型能较好地描述SnO 2薄膜光学性能，可通过改变膜层厚度的方法对F掺杂SnO 2薄膜光学性能进行模拟优化。