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吴有根; 小野让;
不详;
金属膜电阻器; 激光刻蚀 ; 螺纹槽;
机译:通过纳米压印光刻技术制造的V型槽等离子体激元波导
机译:空穴对纳米穿孔半透明金属膜的传播表面等离子体激元模的色散关系的影响
机译:带槽金属膜表面等离子体激元极化子的模拟研究
机译:利用超材料或表面等离子体激元进行光学亚衍射极限成像和光刻。
机译:量身定制的通道等离子体激元的高效激励紫外线光刻定义的V型槽
机译:在定制的UV光刻定义的V型槽中有效激发通道等离子体激元
机译:多金属基板电阻器用于金属膜电阻器的微型化
机译:用于极紫外或电子束光刻的含金属膜形成组合物,用于极紫外或电子束光刻的含金属膜和图案形成方法
机译:用于极紫外光或电子束光刻的含金属膜形成组合物,用于极紫外光或电子束光刻的含金属膜形成和图案形成方法
机译:螺纹槽泵机构,包括螺纹槽泵机构的真空泵,以及在该螺纹槽泵机构中使用的转子,外周侧定子以及内周侧定子
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