氧化锌薄膜材料在SAW元件中的应用

摘要

本文评述ＺｎＯ（氧化锌）薄膜材料在ＳＡＷ（声波）元件中的应用，主要涉及ＺｎＯ薄膜材料的特性，制备技术，在ＳＡＷ元件中的应用举例，并介绍ＺｎＯ薄膜研制和进展以及发展动向。