厚度切变模谐振器用压电陶瓷材料研制

摘要

本文介绍一种用于厚度切变模谐振器的锆钛酸二无系压电陶瓷材料，该材料致密性好，机械品质因素高，材料的谐振频率温度相对漂移小，用该材料制成的压电变模谐振器具有体积小，器件起振灵敏度高，器件谐振频率温度相对漂移小的特点，目前已投入批量化工业生产。