MEMS谐振式加速度计的技术及发展

摘要

MEMS谐振式加速度计是通过检测谐振敏感器件谐振频率的变化量来实现对加速度的测量,具有高精度频率信号输出、量程范围大、精度高、抗干扰能力强、易于集成的特点,具有极佳的应用前景。介绍了MEMS谐振式加速度计的工作原理,归纳并探讨其在设计中所面临的关键技术问题,针对其设计、过程中存在的机械耦合、加工工艺和封装设计等关键技术,提出了静电刚度结构、SOICMOS技术以及圆片级真空封装将是MEMS谐振式加速度计性能提升的重要研究方向。