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微机械加工技术与微传感器

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摘要

传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术则是硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术.本文介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器.

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来源
《电子元器件应用》 |2001年第5期|29-32|共4页
作者
虞承端;
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作者单位

中科院合肥智能机械研究所,合肥,230031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微机械加工; 微传感器;

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