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高精度划片机零件的加工工艺

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摘要

扼要介绍高精度划片机零件的工艺难点、工艺流程、变形因素及其对策、研磨余量及研磨工艺等.

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来源
《电子元器件应用》 |2003年第3期|52-54|共3页
作者
刘格平;
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作者单位

国营西北机器厂,陕西,岐山,722400;

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正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
划片机; 零件; 研磨;

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