退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
Newn.; BE; 吴桂英;
自由电子激光; 光刻; 光学系统;
机译:基于具有千瓦级平均辐射功率的自由电子激光的极紫外纳米光刻加速复合物
机译:激光等离子源,用于极紫外(EUV)光刻激光等离子源,用于极紫外(EUV)光刻
机译:使用学习系统增强的缺陷检测能力,适用于具有投影电子显微镜光学元件的极紫外光刻掩模检测工具
机译:基于自由电子激光的极紫外光刻程序的注意事项
机译:高峰值功率光纤激光器技术,用于激光产生的等离子体极紫外光刻。
机译:极紫外自由电子激光器中的脉冲放大
机译:用于极紫外光刻的紧凑型13.5nm自由电子激光器
机译:基于XUV自由电子激光的投影光刻系统
机译:用于极紫外光刻的反射装置,应用于其的极紫外光刻掩模,投影光学系统和光刻设备
机译:用自由电子激光兼容的极紫外光束进行半导体晶圆计量的方法,装置和系统
机译:极紫外光刻光刻投影光学系统及相关方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。