超高压气体放电光源玻壳材料退火工艺研究

摘要

通过分析石英材料粘度与温度的关系,得出了石英的退火温度范围.结合超高压气体放电光源的要求,对玻壳精密退火工艺进行研究.该工艺充分考虑了因玻壳厚度和降温造成的应力.给出了工艺参数的计算方法,增加了慢速降温阶段,减少了玻壳的剩余应力.