白光干涉法三维面型重构仿真研究

摘要

采用Twyman光路结构和LED为光源进行白光干涉三维测量,对干涉图像及元件面型的重构算法进行了仿真研究.使用Matlab软件,选取了两种面型结构函数,仿真得出重构的面型,选取5个参考点进行了对比.研究结果表明,白光干涉测量具有高精度、测量时间短、相对误差小于0.5％.