改进工艺手段提高色敏传感器蓝、紫光特性

摘要

本文论述了通过浅硼扩散、氧化退火处理、磷扩散、控制光刻工艺的套刻精度等工艺手段研制成功的光电二极管，其在蓝、紫光方面的光电特性具有明显的优越性。