首页> 中文期刊> 《东方电气评论》 >四氯化硅在西门子多晶硅生产流程内部的循环利用

四氯化硅在西门子多晶硅生产流程内部的循环利用

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

文献数据库（团队版） >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

笔者之一曾在1982年发表的热力学分析的文章,结合近期国内多晶硅产业蓬勃发展的新形势和对西门子法工艺主要副产物SiCl4有效利用的迫切需要,本文试图探索四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程中循环利用的可能途径.

著录项

来源
《东方电气评论》 |2008年第4期|70-72|共3页
作者
汪光裕; 丁国江; 艾波;
展开▼
作者单位

峨嵋半导体材料厂(所),四川,峨嵋山,614200;

峨嵋半导体材料厂(所),四川,峨嵋山,614200;

峨嵋半导体材料厂(所),四川,峨嵋山,614200;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类太阳能电池;
关键词
四氯化硅; 循环利用;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 四氯化硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用 [J] . 陈文岳 . 科学与财富 . 2015,第007期
2. 多晶硅生产四氯化硅循环利用技术通过验收 [J] . . 有色设备 . 2013,第001期
3. 多晶硅生产中以四氯化硅补氯方式探讨 [J] . 杜树忠 ,周万礼 ,刘自松 . 云南科技管理 . 2021,第004期
4. 多晶硅副产四氯化硅氢化生成三氯氢硅研究进展 [J] . 潘锦 ,佟峰 . 化工管理 . 2018,第27期
5. 多晶硅副产物四氯化硅的综合应用研究进展 [J] . 张旭 . 科学与财富 . 2015,第007期
6. 多晶硅生产副产物四氯化硅综合利用的理论与实践 [C] . 严大洲 ,张升学 ,万烨 . 中国工程院化工、冶金与材料工程第十届学术会议 . 2014
7. 多晶硅副产四氯化硅生产食品级白炭黑关键技术研究 [A] . 陶炳 . 2015

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号