薄膜晶体管液晶显示器3道光刻技术

摘要

经过30余年的发展,薄膜晶体管液晶显示器产业发展在不断的扩大,技术也在不断的成熟.特别是近几年来,国内液晶显示产业获得了迅猛发展.在液晶显示产业的不断发展中,薄膜晶体管的光刻制程次数也从7道变为了5道,在半透光罩和灰阶光罩技术的不断应用中,光刻次数实现了从5道向4道的改变,依然在研究发展中.当前3道光刻技术成了薄膜晶体显示器产业共同面对的难题.文章通过对3道光刻技术的深入研究,分析了最为常见的光刻技术法,并对制绒技术3道光刻工艺进行了深入研究.