一种硅基雪崩光电探测器的研究

摘要

硅基雪崩光电探测器（Si-APD）性能参数的研究可以优化改进器件结构的设计，而结构设计直接影响雪崩光电探测器的光电特性。本文针对Si基雪崩光电探测器的性能参数和器件结构进行研究，提出了改善器件性能参数的工艺方法，最终设计了一种硅基雪崩光电探测器结构。