20nm以后的集成电路技术

摘要

集成电路进入20nm以后,FinFET,EUV,450mm晶圆,3DIC等新技术不断涌现。同时为了与这些先进技术相匹配,芯片设计人员也要改变原有理念,用DFP, DFM, DFA,和DFC的新概念指引设计。