电镀金刚石线锯表面磨粒分布密度的多相机视觉检测

摘要

电镀金刚石线锯广泛用于单晶硅、蓝宝石、单晶碳化硅、陶瓷等硬脆性材料的切片加工领域,其表面磨粒分布密度直接影响其切片加工性能.用4台CCD相机采集金刚石线锯表面图像,对图像进行高斯滤波预处理,并基于柱面模型将图像展开,以图像中磨粒重心为特征点,通过特征点匹配及筛选、配准模型求解、图像重采样、图像重合区域去除等方法完成图像拼接,得到金刚石线锯全圆柱表面图像,再利用连通域查找提取金刚石线锯全圆柱表面图像内的磨粒数量.结果表明:提出的金刚石线锯全表面图像磨粒分布密度检测方法能提高其磨粒分布密度在线检测精度,与单相机检测的半表面图像结果相比,其磨粒分布密度检测结果的最大相对误差下降29.6％,平均值相对误差下降17.3％.