细磨粒超声珩磨ZrO2表面特征研究

摘要

采用细粒度金刚石油石,对氧化锆工程陶瓷进行了超声珩磨与普通珩磨的试验研究.试验结果表明,磨削条件对被加工表面的粗糙度和表面破碎影响较大:1)超声珩磨的表面和普通珩磨表面相比,磨削沟槽不仅宽且底部平坦,网纹较均匀,珩磨沟槽的顶部较平整,并且不存在断续现象.2)普通珩磨的延性域加工临界磨削深度不超过1.5μm,而超声珩磨方式下,其延性域临界磨削深度可达到3μm.3)普通珩磨方式下,在磨削速度100～150r/m,磨削深度1.0～1.5μm时,可取得较低粗糙度值;超声珩磨方式下,在磨削速度150～190r/m,磨削深度1.0～1.5μm时,取得较低的粗糙度值,同等条件下比普通珩磨低1～2级.