采用WC过渡层增加金刚石薄膜附着力的研究

摘要

在微波等离子体化学气相沉积装置中,以WC-8%Co为基体,采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、碳化等方法,制备了微晶WC过渡层.研究了金刚石薄膜与基体的附着力.结果表明,表面脱碳后再镀W膜,W填充了氢等离子体脱碳时刀具表面因钴蒸发而留下的空洞,形成过渡层,在随后的碳化中和基体WC连接较为紧密,能增加金刚石薄膜与基体附着力,克服单纯的氢等离子体脱碳还原法降低刀具基体硬度、不能完全消除钴的有害影响的缺点.