压力、功率梯度对金刚石性能的影响

摘要

本文旨在研究两面顶合成工艺中金刚石在生长阶段通过改变压力、功率梯度实现改变生长驱动力后对金刚石性能的影响,分析了相应的影响机理.在间接加热腔体结构中,金刚石生长过程采用两种压力、功率梯度进行合成,合成后对所得的样品进行了静压强度、冲击强度、表面形貌检测.结果表明:生长前期的压力和功率梯度增加两倍,生长后期梯度减缓,TTI和TI分别增加了10%.研究认为生长早期压力、功率大梯度(压力增幅大,功率降幅大)有利于提高晶体内部质量,生长后期压力、功率小梯度(压力增幅小,功率降幅小)有利于提高晶体外部质量.