纳米金刚石抛光液制备及应用

摘要

随着光电信息产业的迅猛发展,纳米金刚石抛光液成为了超精密抛光领域的研究热点.本文首先总结了国内外专家、学者关于纳米金刚石微粉在水性和油性介质中的分散方面的一些研究工作,对微粉在介质中的分散、稳定机理进行了初步的探讨;并对纳米金刚石抛光液的制备以及抛光液在半导体硅片、计算机硬盘基片、计算机磁头、光纤连接器以及其它材料的表面超精密抛光应用进行了综述.水基纳米金刚石抛光液可能是未来抛光液的发展方向.