纯钛TA1化学气相沉积表面改性层的耐磨性能研究

摘要

为提高TA1表面的耐磨性能,在TA1表面采用化学气相沉积(CVD)表面处理。用X射线衍射的方法测定了改性层的物相,使用显微硬度计测定了改性层和基体的硬度,在往复式滑动磨损试验机上进行磨损试验,通过扫描电子显微镜分析磨痕形貌。结果表明,TA1经过CVD处理,表面由α Ti、Ti2N及TiN组成,显微硬度为989HV0.025。干摩擦条件下,经化学气相沉积处理的TA1材料的表面改性层的耐磨性得到了明显提高。