La掺杂Bi_4Ti_3O_(12)薄膜的溶胶-凝胶制备工艺研究

摘要

采用溶胶-凝胶法合成了Bi_4Ti_3O_(12)(简称BTO)和La掺杂Bi_(4-x)La_xTi_3O_(12)(简称BLT)薄膜,通过TG-DTA、XRD、AFM等技术手段研究了薄膜的制备工艺、相组成和微观形貌。研究表明:用乙醇铋(自制)、钛酸正丁酯和硝酸镧作为原料,乙二醇、冰乙酸作为溶剂,在Pt(111)/Ti/SiO_2/Si结构的基片上,Sol-Gel法旋涂的薄膜经60℃干燥,反复涂覆5次,60℃干燥,300℃除有机物,550℃快速热处理10 min可得到钙钛矿相BTO薄膜。600℃快速热处理的薄膜比随炉冷却的薄膜均匀致密,随着La含量增加薄膜晶粒细化。