降温速率对ITO靶材相组成的影响

摘要

对400,500,600,700,800,900,1000℃温度下煅烧制得的氧化铟锡（ITO）粉体进行X射线衍射分析,利用Vegard定律分析得到的衍射数据计算出靶材的晶格常数和氧化锡在ITO靶材中的固溶度,得出ITO靶材中氧化锡的固溶度大小主要与温度有关,氧化锡相在靶材中的固溶度随着温度的升高而增大的结论。靶材热压烧结降温时,保持120-150℃·h^-1的降温速率可以得到纯度为99.995%,相对密度为99.274%的氧化铟单相ITO靶材。