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段晓敏; 撖子奇; 闫捷; 张英杰; 曹慧亮;
电子科技大学电子工程学院;
成都611731;
中北大学仪器与电子学院;
太原030051;
北京电子工程研究所;
北京100854;
硅微谐振加速度计; 高灵敏度; 低交叉耦合; 有限元分析(FEM); 谐振结构设计;
机译:基于高Q聚二甲基硅氧烷涂层的微谐振器的片上高灵敏度热传感器
机译:Z轴差分绝缘体上硅谐振加速度计,具有高灵敏度
机译:硅谐振微压传感器和微谐振加速度计
机译:高Q微谐振器作为硅光子学的激光元件。
机译:抗DNa:RNa抗体和硅光子微环谐振器阵列启用超灵敏微RNa的多重检测
机译:微机械硅谐振加速度计的结构设计
机译:具有高加速度灵敏度和低压灵敏度的光纤,用于空间平均光纤加速度计传感器。
机译:环形谐振器传感器具有不对称的MACH-ZEHNDER干涉仪,通过自我更新的环形波导传感器系统具有环形谐振器传感器,并且微谐振器传感器具有环形谐振器传感器,可通过改善灵敏度来改善传感器的灵敏度
机译:硅检测器将硅的灵敏度从200 NM扩展到1100 NM左右,具有很高的效率。
机译:基于线性谐振的微谐振器中硅微谐振器的实时光电流监测和闭环控制调整
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