氧化物超导簿膜的成型技术

摘要

本文介绍了Y－Ba-Cu-O(YBCO)高Tc超导膜的两种成型方法，化学湿法刻蚀的肃离光刻度技术，在化学蚀刻方法中，发现腐蚀液H3PO4／H2O的腐蚀速率R与浓度r的关系可粗略地描述为R＝r(r≤50%),通过选择合适的溶液浓度，腐蚀速率较容易调整，在适当的腐蚀条件下，侧向腐蚀很小，剥离工艺不仅适合于加工细线条，还可以避免成过程对膜表面的污染及减小对超导性能的影响，这两种方法已成功地应用于高Tc超导薄膜红外探测器的制作。