原位YBa2Cu3O7—x超导薄膜正交相的形成与氧的活性的热力学研究

摘要

在激光原位淀积YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜过程中,氧气的分压是一个非常重要的参数。在薄膜的生长过程中氧气分压的瞬间减少薄膜中就会产生缺陷,会严重地影响正交相的形成。该文对制备原位YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜过程中正交相的形成与氧的活性的关系进行了热力学研究。计算结果表明,在环境气氛中氧原子等具有较高化学位成份的存在可大大地降低在生长过程中所必需的氧的分压。为等离子体辅助下低温原位淀积YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的机理提供了理论解释。