高Tc超导红外探测器平面天线设计

摘要

为了提高超导薄膜经外探测器的工作带宽、响应速度和灵敏工，并便于进行集成平面工艺，设计了微桥型红外敏感元及与其耦合的领结型平面天线（ｂｏｗ－ｔｉａ ａｎｔｅｎｎａ），其检测波长范围可从中红外到毫米波段，理论估算其ＮＥＰ值可达１．２×１０＾－１２ＷＨｚ＾－１／２，响应时间τ＜１０＾－６。