电射流高频脉冲电源主电路的仿真与研究

摘要

针对电射流掩膜加工工艺对电源的性能要求,提出了高频逆变的解决方案.自行设计高频脉冲电源主电路,通过整流滤波桥式逆变,实现对频率、占空比的调节,利用SimPowerSystems软件建立了仿真模型,对逆变器输出交流电压、逆变器输出交流电流、直流侧电压、直流侧电流进行仿真分析.利用电力电子控制设备搭建了实验平台,对驱动电路的输入输出、逆变电路IGBT的通断控制等进行了实验.实验表明,研制的主电路在高频逆变下能够对负载(灯泡)进行控制,验证了实验装置的合理性和科学性.