英国剑桥大学项目2014-LI-JQ-004基于微机械系统(MEMS)的体声波(BAW)传感器

摘要

该系统显著优于石英晶体微天平（QCM）的特性，具有紧凑的尺寸、电子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而，其广泛应用仍然受限于对温度的依赖性。最近剑桥大学研究人员已经开发出一种新颖的薄膜体声波谐振器（FBAR）装置，该装置通过使温度和质量负荷在一个单一设备同时进行测量，而不增加其尺寸或复杂性，