新型剪切应力和流体传感器

摘要

剑桥大学新开发一种新型绝缘体上硅（SOI）互补金属氧化物半导体（CMOS）热剪切应力传感器。这种传感器可以用铝或钨热膜作为传感元件进行湍流检测。该传感器存液体或空气动力学检测方面具有广泛应用前景，