关于激光传感器的复杂曲面计量精度补偿研究

摘要

激光传感器因其具有高效率、非接触、成本低等特点,被不断应用于各类场景下的检测计量,但是由于实际应用时场景的复杂变化,导致计量精度受到严重影响,在激光传感器检测原理的分析基础上,针对复杂曲面,提出了基于物面倾角与感光器件倾角的双重计量偏差模型.首先利用物面角度和光能质心之间的联系,得到计量精度与目标曲面移动距离、角度二者的影响关系;然后利用感光器件角度和距离变量之间的联系,得到计量偏差与距离变量存在的正比关系.最后根据偏差模型依次计算出两种偏差估计,结合拉格朗日整理得到影响因子与真实偏差值的关系,经过偏导计算和归一化处理,最终实现精度偏差的自主补偿.仿真结果表明,提出的双重精度偏差模型能够准确实现计量数据的偏差补偿,对于复杂曲面的计量精度能够有效稳定在7μm之下.